发明名称 Verfahren und Lösung zum Ätzen von Trimetallschichten zur Herstellung von elektronischen Schaltungen
摘要
申请公布号 DE69818953(D1) 申请公布日期 2003.11.20
申请号 DE19986018953 申请日期 1998.12.22
申请人 FORD MOTOR CO., DEARBORN 发明人 ACHARI, ACHYUTA;LI, DELIN
分类号 C23F1/36;H05K3/06;H05K3/20;H05K3/38;H05K3/46;(IPC1-7):C23F1/36 主分类号 C23F1/36
代理机构 代理人
主权项
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