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发明名称 DURCH MIKROWELLEN GESTEUERTES PLASMASPRITZGERÄT UND SPRITZVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69630377(D1) 申请公布日期 2003.11.20
申请号 DE19966030377 申请日期 1996.05.28
申请人 PHYSICAL SCIENCES INC., ANDOVER 发明人 READ, MICHAEL;DAVIS, F.;MICCI, M.
分类号 C23C4/00;H05H1/30;H05H1/34;H05H1/42;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/30 主分类号 C23C4/00
代理机构 代理人
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