Eine fortschrittliche Prozesssteuerung für einen Herstellungsvorgang für mehrere Produkte mit minimierter Steuerungsbeeinträchtigung nach erneuter Initialisierung bei Auftreten Resetereignissen

摘要

In einem Verfahren und in einer Steuerung für eine fortschrittliche Prozesssteuerung werden ein oder mehrere aktuell gültige Prozesszustände gespeichert und bei Auftreten eines Resetereignisses mit einem nachfolgend gültigen Prozesszustand verglichen, der nach der Reinitialisierung der Prozesssteuerung erstellt worden ist. Beim Vergleich des zuvor erstellten Prozesszustandes einschließlich der damit verknüpften Geschichtsinformation mit dem Prozesszustand, der nach dem Eintreten des Resetereignisses auf der Grundlage der neu gesammelten Geschichtsinformation erstellt worden ist, wird entschieden, ob ein Zurücksetzen der Prozesssteuerung notwendig gewesen ist. Wenn bewertet wird, dass eine Zurücksetzung nicht notwendig gewesen ist, geht die Prozesssteuerung auf der Grundlage des zuvor erstellten Prozesszustandes und möglicherweise auf der Grundlage des aktuell gültigen Prozesszustandes und der relevanten Geschichtsinformation weiter. Auf diese Weise konvergiert die Prozessgenauigkeit rasch nach Auftreten eines Resetereignisses und das Zurücksetzen der Prozesssteuerung wird nur in Fällen ausgeführt, in denen das Resetereignis eine deutliche Änderung in einer der beteiligten Prozesskomponenten nach sich gezogen hat.