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Printing mask cleaning apparatus and method
摘要
申请公布号
EP0838979(B1)
申请公布日期
2003.11.19
申请号
EP19970117101
申请日期
1997.10.02
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
HAMAZAKI, KURAYASU;YAMAUCHI, TOSHIAKI;OKANOUE, KAZUE;ISHIMOTO, KAZUMI;TAKAHASHI, KEN;NAITO, TAKAO;MITSUSHIRO, KOJI
分类号
B41F15/12;B41F35/00;H05K3/12;(IPC1-7):H05K3/00
主分类号
B41F15/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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