有源矩阵型有机电致发光显示装置及其制造方法

摘要

与现有技术使用八道掩模工序不同的是，本发明的有源矩阵型有机电致发光显示装置是通过六道掩模工序完成的。在本发明中，由于地线和电源线完全地或基本上完全地设置在衬底上，所以减小了电源线的电阻并防止了在装置运行期间出现在电源线上的热损耗。因此，提高了图像质量并获得了均匀显示效果。此外，由于减少了掩模工序，减少了出现故障的机会并由此提高的产量。此外，本发明的原理可应用于顶部发光型有机电致发光显示装置或底部发光型有机电致发光显示装置。当采用顶部发光型时，有源矩阵型有机电致发光显示装置能够具有高孔径比。

主权项

1.一种有源矩阵型有机电致发光显示装置，包括：衬底；设在衬底上的地线层；设在地线层上的缓冲层；设在缓冲层上的多晶硅半导体层，所述多晶硅半导体层上设有有源区、漏区和源区，其中有源区设置在多晶硅层的中部，漏区和源区设在有源区的两侧；设在缓冲层上并覆盖多晶硅层的栅极绝缘层；设在栅极绝缘层上的栅极，该栅极位于多晶硅层有源区的上方；设在栅极绝缘层上的第一电容器电极；设在栅极绝缘层上并覆盖栅极和第一电容器电极的隔层绝缘体；设在隔层绝缘体上的漏极和源极，漏极和源极分别通过贯穿隔层绝缘体和栅极绝缘层的第一和第二接触孔与漏区和源区接触；设在隔层绝缘体上并与漏极相连的阴极；设在隔层绝缘体上的第二电容器电极；设在隔层绝缘体上并覆盖漏极、源极、阴极和第二电容器电极的钝化层，所述钝化层具有使阴极暴露的井口；在钝化层上和井口内形成的有机电致发光层，所述有机电致发光层通过井口与阴极接触；和设在钝化层暴露部分以及有机电致发光层上的阳极。