改进探针台的方法

摘要

一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板(12)，从而该探针台(10)适于配接于一预定探针板盘(16)与一组测试器中的任一个测试器(18)。随后在该顶板内加工一个凹陷部以形成顶板－工具板附接区域。接着，在此区域内提供并安装固定和对齐元件。再者，提供一组工具板(110)，每个均具有适于配接至该附接区域上的固定和对齐元件的固定和对齐元件，并确定设计为接合该预定探针板盘的孔隙。之后，使用者可选择这些工具板中所需要的一个，并且运用固定和对齐元件将所选择的工具板配接并固定至该顶板－工具板附接区域。

主权项

1.一种改进探针台的方法，该探针台具有一顶板，从而所述探针台适于配接一预定探针板盘与一组测试器中的任一测试器，所述方法包含以下步骤：(a)在所述顶板内加工一凹陷部，以形成顶板-工具板附接区域；(b)提供顶板-工具板附接区域固定和对齐元件；(c)提供一组工具板，每个均具有适于配接至所述顶板-工具板附接区域固定和对齐元件的固定和对齐元件，并且确定设计为接合所述预定探针板盘的孔隙，并包括用于帮助对接至所述组的测试器中的一特定测试器的对接装置；(d)选择所述工具板中的一个所需要的；及(e)运用所述固定和对齐元件将所述所选择的工具板配接并固定至所述顶板-工具板附接区域。