| 发明名称 | 从物体微观结构中去除残余物的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN1457502A | 申请公布日期 | 2003.11.19 |
| 申请号 | CN02800274.1 | 申请日期 | 2002.02.08 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 增田薰;饭岛胜之;铃木哲雄;川上信之;山形昌弘;达里尔·W·彼得斯;马修·I·埃贝 |
| 分类号 | H01L21/00;B08B3/00;C11D1/00;C11D3/37 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 程金山 |
| 主权项 | 1.一种从物体微观结构中去除残余物的方法，其包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂中包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将该添加剂溶解到该二氧化碳中的助溶剂；和将物体与该去除剂接触以去除物体中的残余物。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||