薄膜晶体管和制造方法

摘要

一种制造薄膜晶体管的方法包括以下步骤：淀积和图案化多个层(3，13，15，23)来确定薄膜晶体管，其中多个层之一(23)用高清晰度工艺图案化而多个层中的其它层(3，13，15)用低清晰度工艺图案化。具体地，确定薄膜晶体管的源和漏的金属化层(23)可以用高清晰度工艺图案化而其它的层可以用低清晰度工艺图案化。高清晰度工艺可以是光刻，低清晰度工艺可以是印刷。

主权项

1.一种制造具有薄膜晶体管阵列的板的方法，包括任何顺序的如下步骤：用低清晰度工艺形成和图案化确定延伸跨越衬底的行导线的层；用低清晰度工艺形成和图案化半导体区域来形成薄膜晶体管的沟道区域，该半导体区域与行导线区域垂直对准，行导线形成薄膜晶体管的栅；在确定行导线的层与半导体区域之间形成栅绝缘层；以及用高清晰度工艺确定薄膜晶体管的源和漏。