发明名称 用于检测和测量磁性微粒积聚物的方法和装置
摘要 使用霍尔传感器(15、16)检测和测量磁性微粒积聚物的装置。使用低频AC信号(24)激励或偏置DC磁场(23)中的霍尔传感器。为了产生表示基片(22)上的微粒数量的信号,该微粒被移入与该霍尔传感器产生操作关系的位置。用于这样的检测和测量的方法也是本发明的一部分。
申请公布号 CN1457434A 申请公布日期 2003.11.19
申请号 CN02800318.7 申请日期 2002.02.12
申请人 量子设计有限公司 发明人 罗纳德·E·塞杰;迈克尔·B·西蒙兹;约斯特·H·迪德里赫斯;库尔特·G·延森;兰德尔·C·布莱克
分类号 G01R33/12;G01N33/48;G01N33/487 主分类号 G01R33/12
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚
主权项 1.一种对目标磁性微粒的积聚物进行定量测量的装置(10),所述装置包括:基片(22),所述基片(22)被配置以在定义的图案(pattern)中容纳包括所述目标微粒的试样(21),所述试样包括粘附至目标微粒的具有已知尺寸和磁特性的磁性微粒,以形成磁性粘附复合物试样;磁铁(11),所述磁铁(11)用于产生DC磁场;至少一个具有输出信号导体的磁场传感元件(11A或11B);装置,所述装置用于引起所述基片和磁场之间的运动,以将所述试样置于与所述至少一个传感元件产生操作关系的位置中,所述传感元件具有合成输出信号;以及信号处理器,所述信号处理器用于转化来自所述至少一个传感元件的所述输出信号,以提供表示图案中的试样数量的信号。
地址 美国加利福尼亚州