发明名称 Compensation mechanism for component and assembly deviation in a component precision positioning stage
摘要
申请公布号 EP1193518(A3) 申请公布日期 2003.11.19
申请号 EP20010307812 申请日期 2001.09.13
申请人 MAURO, GEORGE 发明人 MAURO, GEORGE
分类号 B23Q1/58;F16C29/02;G02B7/00;G02B21/26;(IPC1-7):G02B7/00 主分类号 B23Q1/58
代理机构 代理人
主权项
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