| 发明名称 | 电子迁移可靠度的测量方法 | ||
| 摘要 | 一种电子迁移可靠度的测量方法，此测量方法包括下列步骤：a.于一第一时间供给被测量元件一脉冲波，以使被测量元件升至高温。b.供给被测量元件一测试电流，以测量此被测量元件的电性值，求取电子迁移可靠度的测量数据。c.于一第二时间内，停止将脉冲波供给至被测量元件，以使被测量元件温度降至接近常温。d.以步骤(a)到步骤(c)为一个循环，重复上述步骤(a)到步骤(c)。 | ||
| 申请公布号 | CN1456878A | 申请公布日期 | 2003.11.19 |
| 申请号 | CN02126481.3 | 申请日期 | 2002.07.23 |
| 申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 李介文;黄吕祥 |
| 分类号 | G01N27/00 | 主分类号 | G01N27/00 |
| 代理机构 | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种电子迁移可靠度的测量方法，适用于测量一被测量元件的电子迁移可靠度，其特征是，该测量方法包括下列步骤：a.于一第一时间供给该被测量元件一脉冲波；b.供给该被测量元件一测试电流，以测试该被测量元件的一电性值；c.于一第二时间内，停止提供该脉冲波至该被测量元件；以及d.以步骤(a)到步骤(c)为一个循环，重复上述步骤(a)到步骤(c)。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路三号 | ||