光记录媒体原盘的制作方法

摘要

在本发明中，在根据基底上形成的掩膜形状通过干法蚀刻形成不平坦图案时，进行控制，使掩膜随着干法蚀刻回缩或收缩，不平坦图案的侧壁成为斜面。为了以这种方式进行控制，例如，用树脂材料形成掩膜，用包括氧气的蚀刻气体进行干法蚀刻。最好使用磁性中性粒子环释放等离子体蚀刻机进行蚀刻。

主权项

1.一种用以生产光记录媒体原盘的方法，其中，在根据基底上形成的掩膜的形状通过干法蚀刻形成不平坦图案时，进行控制，使掩膜随着蚀刻的进行回缩或收缩，而使不平坦图案的侧壁成为斜面。