Apparatus and method for reducing heating of a workpiece in ion implantation,申请号EP20000303240-传众专利搜索

发明名称	Apparatus and method for reducing heating of a workpiece in ion implantation
摘要
申请公布号	EP1083587(A3)	申请公布日期	2003.11.19
申请号	EP20000303240	申请日期	2000.04.17
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	RYDING, GEOFFREY;SMICK, THEODORE H.;FARLEY, MARVIN
分类号	H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
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