发明名称 A PROCESS FOR PREPARING THE NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 UA61646(A) 申请公布日期 2003.11.17
申请号 UA20030032458 申请日期 2003.03.21
申请人 DONETS''K NATIONAL UNIVERSITY 发明人 IHNATENKO PETRO IVANOVYCH;KLIAKHINA NATALIIA AFANASIIVNA;BADEKIN MAKSYM YURIIOVYCH
分类号 C23C16/38;(IPC1-7):C23C16/38 主分类号 C23C16/38
代理机构 代理人
主权项
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