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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR CONTROLLING POWER IN VAPOR JET VACUUM PUMPS
摘要
申请公布号 AU2003223458(A1) 申请公布日期 2003.11.17
申请号 AU20030223458 申请日期 2003.04.04
申请人 VARIAN, INC. 发明人 MARSBED HABLANIAN
分类号 F04F5/48;F04F9/08;(IPC1-7):F04F9/08 主分类号 F04F5/48
代理机构 代理人
主权项
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