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发明名称
摘要
申请公布号	JP3466721(B2)	申请公布日期	2003.11.17
申请号	JP19940192792	申请日期	1994.07.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/469;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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