发明名称 HIGH VOLTAGE SWITCHING DEVICES AND PROCESS FOR FORMING SAME
摘要
申请公布号 AU2003228736(A1) 申请公布日期 2003.11.17
申请号 AU20030228736 申请日期 2003.04.30
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 JEFFREY, S. FLYNN;GEORGE, R. BRANDES;ROBERT, P. VAUDO
分类号 C30B25/02;C30B29/40;H01L21/20;H01L21/205;H01L29/20;H01L29/47;H01L29/861;H01L29/868;H01L29/872;(IPC1-7):H01L29/205;H01L33/00;H01L29/778;H01L31/030 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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