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发明名称
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申请公布号 NL7110572(A) 申请公布日期 1972.02.02
申请号 NL19710010572 申请日期 1971.07.30
申请人 WESTERN ELECTRIC CO 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L7/54;H01L7/52 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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