| 发明名称 |
ION SOURCE PROVIDING RIBBON BEAM WITH CONTROLLABLE DENSITY PROFILE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003225218(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.17 |
| 申请号 |
AU20030225218 |
申请日期 |
2003.04.29 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
VICTOR BENVENISTE |
| 分类号 |
H01J27/16;H01J27/00;H01J27/06;H01J37/04;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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