薄膜滤波片工件之切割方法

摘要

一种薄膜滤波片工件之切割方法具二实施例，第一实施例中，工件(16)切割前，过渡层(13)连接一辅助基底(14)至工件之玻璃基底(12)。第二实施例中，工件(23)包括一玻璃基底(22)，其厚度较最终预期厚度厚，工件切割后，移除玻璃基底之多余部份(222)。该方法之二实施例均增加工件之有效厚度，从而减小薄膜滤波片成品之残余应力，进而减小切割时工件之膜堆(11、21)自玻璃基底剥落之风险。