半导体检测装置,半导体积体电路装置,检测方法及制造方法

摘要

本发明的技术课题系在记忆体测试装置1设置随机数产生电路之特性电路5。另外，在测试装置DUT设置特性电路。藉此，可以一次高精度测试多数个之半导体积体电路装置，能够大幅降低测试成本。