SPÜLGEFÄSS MIT ÄUSSERST REINER FLÜSSIGKEIT,申请号AT20000410075T-传众专利搜索

发明名称	SPÜLGEFÄSS MIT ÄUSSERST REINER FLÜSSIGKEIT
摘要
申请公布号	AT253990(T)	申请公布日期	2003.11.15
申请号	AT20000410075T	申请日期	2000.07.12
申请人	VACO MICROTECHNOLOGIES	发明人	ORAVEC, VICTORIA
分类号	B08B3/10;B08B3/12;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/10	主分类号	B08B3/10
代理机构		代理人
主权项
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