STRIP CONDUCTOR ARRANGEMENT AND METHOD FOR PRODUCING A STRIP CONDUCTOR ARRANGEMENT

摘要

Eine Leiterbahnanordnung (100) weist auf ein Substrat (101) aus einem ersten Isolationsmaterial mit einer Substratoberfläche (102), mindestens zwei nebeneinander in dem Substrat (101) angeordnete Leiterbahnen (103), mit einer Pufferschicht (104) aus einem zweiten Isolationsmaterial über dem Substrat (101) und mit einer zu der Substratoberfläche (102) parallelen Pufferschichtoberfläche (105), mindestens einen zwischen den Leiterbahnen (103) angeordneten, bezüglich der Pufferschichtoberfläche (105) tiefer als die Leiterbahnen (103) in das Substrat (101) hineinragenden Hohlraum (107), und eine über der Pufferschicht (104) angeordnete Deckschicht (111) aus einem dritten Isolationsmaterial, welche den Hohlraum (107) vollständig zur Pufferschichtoberfläche (105) hin abschliesst.