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发明名称 GETTER-SPUTTERING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 CA896071(A) 申请公布日期 1972.03.21
申请号 CAD896071 申请日期
申请人 UNIVERSITY COLLEGE OF NORTH WALES 发明人 HARVEY D. COLTMAN;DAVID O. SPILLER;DAVID W. F. JAMES
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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