| 发明名称 |
Einrichtung zur abgedichteten Halterung dünner Scheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19923871(C2) |
申请公布日期 |
2003.11.13 |
| 申请号 |
DE19991023871 |
申请日期 |
1999.05.25 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V. |
发明人 |
STEPHAN, JUERGEN |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/68;F16J15/06 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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