发明名称 Siliciumnitridsinterkörper und Verfahren zum Herstellen desselben
摘要
申请公布号 DE60001292(T2) 申请公布日期 2003.11.13
申请号 DE2000601292T 申请日期 2000.06.20
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 ARAKI, KIYOSHI;INOUE, KATSUHIRO
分类号 C04B35/593;H01L23/15;H05K1/03;(IPC1-7):C04B35/593;H01L21/48 主分类号 C04B35/593
代理机构 代理人
主权项
地址