Mikromechanisches Bauelement mit einem Isolationsbereich und entsprechendes Herstellungsverfahren

摘要

Die vorliegende Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (1); einem in dem Substrat (1) vorgesehenen Isolationsbereich (4), welcher an die Vorderseite des Substrats (1) angrenzt; einer in dem Isolationsbereich (4) vorgesehenen Grabenstruktur (2', 3') und einem auf dem Isolationsbereich (4) vorgesehenen Verschließbereich (6, 8, 9) zum Verschließen der Grabenstruktur (2', 3'). Die Erfindung schafft ebenfalls ein entsprechendes Herstellungsverfahren.