| 摘要 |
<p>Es wird ein Temperatursensor mit einem stabilen Aufbau vorgeschlagen, der sich einfach einbauen und verpacken lässt, unkompliziert in der Herstellung ist und mit dem schnelle Temperaturänderungen zuverlässig erfasst werden können. Der Temperatursensor (1) umfasst ein Siliziumsubstrat (2), in dem mindestens ein poröser Bereich (3) ausgebildet ist, wobei der Grad der Porosität und die Dicke des porösen Bereichs (3) so gewählt sind, dass der poröse Bereich (3) vom Siliziumsubstrat (2) thermisch entkoppelt ist. Des Weiteren umfasst der Temperatursensor (1) Temperaturmesselementen (6, 7) zum Erfassen der Temperaturdifferenz zwischen dem Siliziumsubstrat (2) und dem porösen Bereich (3). Ausserdem kann der Temperatursensor noch Heizmittel zum Testen der Sensorfunktion umfassen.</p> |
