Kompakte Strahlzurückverfolgungsoptikeinrichtung zum Eliminieren eines Strahlauseinanderlaufens

摘要

Ein Multiachseninterferometer verwendet einen kombinierten Strahl für einen ersten Durchlauf durch die Interferometeroptik. Meß- und Referenzkomponenten des kombinierten Strahls, die aus der Interferometeroptik austreten, sind einem Auseinanderlaufen unterworfen, das durch eine Meß- oder Referenzreflektor-Fehlausrichtung bewirkt werden kann. Ein Rücklaufreflektor und ein Nicht-Polarisierungsstrahlteilersystem teilen den kombinierten Strahl in getrennte Eingangsstrahlen für die verschiedenen Achsen des Interferometers und senden die getrennten Strahlen für jeweilige zweite Durchläufe durch die Interferometeroptik zurück. Ein Auseinanderlaufen für die getrennten Strahlen in der Interferometeroptik hebt das Auseinanderlaufen für den kombinierten Strahl auf, um ein Strahlauseinanderlaufen bei getrennten Ausgangsstrahlen zu eliminieren. Ein gemeinsames Verwenden eines kombinierten Strahls für einen ersten Durchlauf durch die Interferometeroptik verringert die für die Interferometeroptik und die Referenz- und Meßspiegel erforderliche Größe. Das Multiachseninterferometer kann einen einzigen Rücklaufreflektor aufweisen.