Bauteile mit kristallinen Beschichtungen des Systems Aluminiumoxid/Siliziumoxid und Verfahren zu deren Herstellung

摘要

Die Erfindung betrifft Bauteile mit kristallinen Beschichtungen des Systems Aluminiumoxid/Siliziumoxid und Verfahren zu deren Herstellung zur Erzeugung harter Schichten auf Silizium oder Silikatglasunterlagen als Material für harte und chemisch resistente Hochtemperaturbeschichtungen. Ausgezeichnete Hafteigenschaften resultieren aus der Verwachsung der Schichten mit den Unterlagen, die durch das Vorliegen von ausgedehnten Struktur- und/oder Konzentrationsgradienten insbesondere im Grenzflächenbereich gekennzeichnet sind. Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, dass bei oder nach der Aufbringung von Aluminiumoxidschichten auf Substraten aus Silizium oder Silikatglas eine Wärmebehandlung der Reaktionszone unter Vakuumbedingungen bei Temperaturen größer 1100 DEG C erfolgt.