利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置

摘要

本实用新型涉及利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置，该装置在已有的镀膜设备中安装至少一套蒸发靶组件：该蒸发靶组件由一设置在基片加热器下方的支撑架，其上固定一对蒸积出来的靶材进行导流作用的靶管，该支撑架固定在真空室内壁上；真空室底座上设置一水冷电极固定架，水冷管缠绕在水冷电极固定架上，水冷管两端引出真空室外与水冷系统连通；用金属靶材制成的板状加热片，它同时又是蒸发靶安装在和水冷电极上，该板状加热片安装位置与靶管垂直相对；一导电材料制作的水冷电极固定架，它并与加热电源连接，控制计算机与加热电源、测温仪电源连接。该装置结构简单，易于加工，使用方便；制的薄膜面积大，不易污染、性能优良。

主权项

1.一种利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置，包括：带有石英窗口的真空室、红外测温仪、和安装在真空室外两侧与真空室连通的真空机组，和水冷系统；真空室内上方安装基片加热器、档板和光栏；高压气瓶通过真空室壁上的针阀与真空室连通；控制计算机与控温电源和基片加热器电连接；其特征在于：还包括至少一套蒸发靶组件：该蒸发靶组件由一设置在基片加热器下方的支撑架，其上固定一对蒸积出来的靶材进行导流作用的靶管，该支撑架固定在真空室内壁上；真空室底座上设置一水冷电极固定架，水冷管缠绕在水冷电极固定架上，水冷管两端引出真空室外与水冷系统连通；用金属靶材制成的板状加热片，它同时又是蒸发靶安装在和水冷电极上，该板状加热片安装位置与靶管垂直相对；一导电材料制作的水冷电极固定架，它并与加热电源连接，控制计算机与加热电源、测温仪电源连接。