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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MECHANICAL AND CHEMICAL-MECHANICAL PLANARIZATION OF MICROELECTRONIC SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1042105(B1) 申请公布日期 2003.11.12
申请号 EP19980966113 申请日期 1998.12.29
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 MOORE, SCOTT, E.
分类号 B24B37/26;B24D13/14;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B37/26
代理机构 代理人
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