发明名称 |
采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置 |
摘要 |
本实用新型涉及采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置。该装置是在真空镀膜设备中设置至少一阳极和放有靶材的阴极,作为阳极的水冷电极上连接有活动接头,并与控制电源相连,该阳极与系统的循环水冷系统相连;电弧触发电极设置在阳极和阴极之间,电弧触发电极的引线穿出真空室外并与电弧触发控制电源电连接。本实用新型克服了靶材掺入到薄膜中而降低膜品质的问题,结构简单、易于操作。所制的薄膜的直径可达2-3英寸,膜厚变化在±7%的范围之内,薄膜的超导转变温度为86-89K,临界电流密度为2-4MA/cm<SUP>2</SUP>,X射线衍射分析为C轴取向生长膜。 |
申请公布号 |
CN2585870Y |
申请公布日期 |
2003.11.12 |
申请号 |
CN02293461.8 |
申请日期 |
2002.12.24 |
申请人 |
中国科学院物理研究所 |
发明人 |
刘震;周岳亮;朱亚彬;王淑芳;陈正豪;吕惠宾;杨国桢 |
分类号 |
C23C14/38 |
主分类号 |
C23C14/38 |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王凤华 |
主权项 |
1.一种采用电弧加热靶材蒸积制备大面积薄膜的装置,其特征在于:包括:带有石英窗口的真空室、和安装在真空室外两侧与真空室连通的真空机组,真空室内上方安装基片加热器,加热器的下端面放置基片;真空室内还安装有档板和光栏;高压气瓶通过真空室壁上的针阀与真空室连通;控制计算机与控制电源和基片加热器电连接;以及带有红外测温仪;其特征在于:还包括至少在真空室内的上下相对设置至少一对阳极和阴极,作为阴极的铜锅内放有靶材、阳极上连接有活动接头,电弧触发电极设置在阳极和阴极之间,电弧触发电极的引线穿出真空室外并与电弧触发控制电源电连接;水冷阳电极通过活动接头由真空室的上部伸入到真空室中,固定在真空室上部,并与控制电源相连;作为阴极的铜锅及靶材设置在真空室的底部并与水冷底座相连。 |
地址 |
100080北京市海淀区中关村南三街8号 |