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发明名称 LASER SCANNING WAFER INSPECTION USING NONLINEAR OPTICAL PHENOMENA
摘要
申请公布号 EP1360474(A2) 申请公布日期 2003.11.12
申请号 EP20020720969 申请日期 2002.02.13
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SOME, DANIEL, I.;REINHORN, SILVIU;ALMOGY, GILAD
分类号 G01N21/956;G01N21/64;G01N21/65;G01N21/95;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/95 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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