| 主权项 |
1.一种正型放射线感应性树脂组合物,其特征为包含:(a)令羟基苯乙烯类之聚合物、R1-O-CH=CH2(式中R1为直链、分枝或环状之碳数为1~12个且可具取代基之烷基)及选自一价、二价及三价醇之醇化合物于酸性触媒存在下反应,继而除去该反应副产之分子量1000以下之低分子缩醛化合物所得之可藉酸之作用分解而增大对硷性显像液之溶解性之聚合物,其添加量为不包含溶剂之抗蚀剂的构成成分中之40~98重量%;(b)藉由活性光线或放射线之照射产生酸之化合物;(c)溶剂;以及(d)有机硷性化合物。2.如申请专利范围第1项之正型放射线感应性树脂组合物,其中该聚合物(a)系在将反应副产之分子量1000以下之低分子缩醛化合物除去前或除去后,以有机硷将反应中使用之酸性触媒中和所得者。3.如申请专利范围第1或2项之正型放射线感应性树脂组合物,其中该低分子缩醛化合物之除去,系藉由将溶解有上述聚合物(a)之溶液与该聚合物(a)之负溶媒混合,以使该聚合物(a)沉淀或分离之方法而进行。4.如申请专利范围第1或2项之正型放射线感应性树脂组合物,其中聚合物(a)中分子量1000以下之低分子缩醛化合物之含量为聚合物(a)总重之2重量%以下。5.如申请专利范围第3项之正型放射线感应性树脂组合物,其中聚合物(a)中分子量1000以下之低分子缩醛化合物之含量为聚合物(a)总重之2重量%以下。 |
