| 主权项 |
1.一种将一张力光罩附着到一框架之方法,其可使在横越该光罩之多数个位置上达到所需张力;该框架具有两个对立框边,该光罩即附着于其间;该方法包括:从各个在该框架两对立框边上的各个位置上的多个分立的致动器,施加特定的力量,其分别影响到横越该光罩多数个位置上的光罩张力;各该致动器系个别接受控制,以对一框架边施加一特定力量,其系直接关连到在一特别光罩位置上所需要的光罩张力;及将光罩附着到该两对立框边上。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中力量系由致动器施加到该框架的各个框边、在每框边至少五个的位置上。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中该分立的致动器系流体激动液压缸。4.根据申请专利范围第3项之方法,其中该液压缸包括气体驱动活塞杆,其提供施加到该液压缸的力量。5.根据申请专利范围第3项之方法,其中该液压缸包括液体驱动活塞杆,其提供施加到该液压缸的力量。6.一种将一张力光罩附着到一框架之方法,其可使在横越该光罩之多数个位置上达到所需张力;该框架具有两个对立框边,该光罩即附着于其间;该方法包括:从各个在该框架两对立框边上的各个位置上的多个分立的致动器,施加特定的力量,其可分别影响到横越该光罩多数个位置上的光罩张力者;各该致动器系个别接受控制,以对该光罩施加一特定力量,其可系直接关连到在一特别光罩位置上所必需的光罩张力;及将光罩附着到该两对立框边上。图式简单说明:图1为一张力光罩-框架总成的透视图;图2为一张力光罩框架的透视图,有多个液压缸沿框架长边设置; |
