| 主权项 |
1.一种涂布机台之暂停运作控制器,其中该涂布机台包括一机械手臂、一手臂暂停按键、以及至少一组光阻液储存槽与感测器,该光阻液储存槽系由一对应之光阻液瓶提供光阻液,且该感测器系用以侦测该光阻液储存槽内之光阻液液位,该涂布机台之暂停运作控制器至少包括:一开关元件,其系电连接于该感测器、该机械手臂与该手臂暂停按键,用以接收该感测器所发出之一侦测讯号,其中该侦测讯号系代表该光阻瓶内之光阻液是否达到需更换之状态;藉此,当该光阻瓶之光阻液达到需更换之状态时,该侦测讯号导通该开关元件,使该机械手臂之运作被锁住且使该手臂暂停按键失效,而当该光阻瓶之光阻液无须更换时,该侦测讯号关闭该开关元件,且致能该手臂暂停按键以及解除该机械手臂之锁制。2.如申请专利范围第1项所述之涂布机台之暂停运作控制器,其中该涂布机台系为光阻涂布机台。3.如申请专利范围第1项所述之涂布机台之暂停运作控制器,其中该开关元件系为二极体、电晶体与积体电路其中之一。4.如申请专利范围第1项所述之涂布机台之暂停运作控制器,其中该感测器系设置于该光阻液储存槽内。5.一种无光阻液来源时之涂布机台控制方法,其中该涂布机台包含一机械手臂、一手臂暂停按键、一电脑控制系统、至少一组光阻液储存槽与感测器,以及一暂停运作控制器,其中该光阻液储存槽系由一对应之光阻液瓶提供光阻液,而该暂停运作控制器系具有一开关元件以控制涂布机台于无光阻来源时之运作,该控制方法至少包含下列步骤:(a)以该涂布机台进行光阻涂布程序;(b)以该感测器持续侦测该光阻液储存槽内之光阻液液位,并对应地输出一侦测讯号至该电脑控制系统,以藉由该电脑控制系统判断该光阻瓶是否达到需更换之状态;(c)当该光阻瓶之光阻液达到需更换之状态时,该暂停运作控制器使该侦测讯号导通该开关元件,并使该机械手臂之运作被锁制且该手臂暂停按键失效;(d)当该光阻瓶之光阻液已更换或无须更换时,该暂停运作控制器使该侦测讯号关闭该开关元件,并致能该手臂暂停按键与使该机械手臂继续运作;以及(e)重复该侦测步骤,直到该光阻涂布程序完成止。6.如申请专利范围第5项所述之无光阻液来源时之涂布机台控制方法,其中该步骤(b)更包括步骤:(b1)该感测器持续侦测该光阻液储存槽内之光阻液液位,并将所测得之液位高低转换成对应之该侦测讯号输出;以及(b2)该电脑控制系统接收该侦测讯号,并将该侦测讯号与该预设之界限値相比较,判断该光阻液储存槽之液位是否低于该界限値而代表该光阻瓶达到需更换之状态。7.如申请专利范围第6项所述之无光阻液来源时之涂布机台控制方法,其中当该感测器测得液位时输出的侦测讯号为高电位,当该感测器测得液位低于一界限値时所输出的侦测讯号为低电位。8.如申请专利范围第5项所述之无光阻液来源时之涂布机台控制方法,其中该步骤(c)更包括步骤:(c1)当该光阻瓶之光阻液达到需更换之状态,该暂停运作控制器使该侦测讯号导通该开关元件,而该开关元件强制触动手臂暂停按键使其无法被人工解除,且使机械手臂被暂时锁住而停止运作;(c2)判断是否有产品在等待该光阻涂布程序是否已完成;以及(c3)该系统控制器输出一错误讯息,且使该手臂暂停按键指示灯变亮。9.如申请专利范围第8项所述之无光阻液来源时之涂布机台控制方法,其中该步骤(c3)之后更包括步骤(c4)更换光阻瓶。10.如申请专利范围第9项所述之无光阻液来源时之涂布机台控制方法,其中该步骤(c4)之后更包括步骤(c5)消除该错误讯号。图式简单说明:第一图:其系为传统之光阻涂布机台之光阻瓶、光阻液储存槽与感测器之配置方式示意图。第二图:其系为本案较佳实施例之光阻涂布机台暂停运作控制器方块示意图。第三图:本案较佳实施例之光阻涂布机台于无光阻来源时之控制步骤流程图。第四图:其系为本案较佳实施例之光阻涂布机台之光阻瓶、光阻储存槽与感测器之配置方式示意图。 |
