| 发明名称 |
Apparatus and methods for minimizing arcing in a plasma processing chamber |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003228799(A8) |
申请公布日期 |
2003.11.11 |
| 申请号 |
AU20030228799 |
申请日期 |
2003.05.01 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
ANDRAS KUTHI;ANDREW D. III BAILEY;ARTHUR M. HOWALD;BUTCH BERNEY |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/00;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
