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发明名称 ON-WAFER PACKAGING FOR RF-MEMS
摘要
申请公布号 AU2003226378(A1) 申请公布日期 2003.11.11
申请号 AU20030226378 申请日期 2003.04.14
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 发明人 KATHERINE, J. HERRICK;JAMES, P. BECKER;LINDA, P., B. KATEHI;ALEXANDROS MARGOMENOS
分类号 B81B7/00;(IPC1-7):B81B7/00 主分类号 B81B7/00
代理机构 代理人
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