| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING WAFER TEMPERATURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003234284(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.11 |
| 申请号 |
AU20030234284 |
申请日期 |
2003.04.29 |
| 申请人 |
LOCKHEED MARTIN CORPORATION |
发明人 |
THOMAS, E. DRAKE |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/16;G01D5/26;G01K11/22;G01K11/26;G01N21/17;G01N29/06;G01N29/11;G01N29/24;G01N29/32;G01N29/44;G01N29/50;G01N33/34;G05D23/27;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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