| 发明名称 |
MICRO ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003224701(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.10 |
| 申请号 |
AU20030224701 |
申请日期 |
2003.03.17 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
KERYN LIAN;JUNHUA LIU;ROBERT B. LEMPKOWSKI;MANES ELIACIN |
| 分类号 |
B81C1/00;B81B3/00;H01H59/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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