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发明名称 STICKING DEVICE FOR FLAT PANEL SUBSTRATE
摘要
申请公布号 AU2003227422(A1) 申请公布日期 2003.11.10
申请号 AU20030227422 申请日期 2003.04.18
申请人 SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD. 发明人 TOSHIO SEKIGAWA;AKIYOSHI YOKOTA;ICHIRO ISHIZAKA
分类号 G02F1/1341;H01J9/24;H01J9/26;(IPC1-7):G09F9/00;G02F1/13 主分类号 G02F1/1341
代理机构 代理人
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