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发明名称 Verfahren zur Ätzung von Substraten
摘要
申请公布号 DE69725245(D1) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 DE19976025245 申请日期 1997.07.28
申请人 SURFACE TECHNOLOY SYSTEMS PLC, NEWPORT 发明人 BHARDWAJ, JYOTI KIRON;ASHRAF, HUMA;KHAMSEHPOUR, BABAK;HOPKINS, JANET;HYNES, ALAN MICHAEL;RYAN, MARTIN EDWARD;HAYNES, DAVID MARK
分类号 H01L21/302;H01L21/203;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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