摘要 |
<p>Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers mit geringem OH-Gehalt wird zunächst durch Flammenhydrolyse einer siliciumhaltigen Verbindung und schichtweises Abscheiden von SiO2-Partikeln auf einem rotierenden Träger ein langgestreckter, poröser Sootkörper hergestellt, und dieser einer Dehydratationsbehandlung unterzogen und danach in einem Verglasungsofen verglast. Um hiervon ausgehend ein einfaches Verfahren anzugeben, das ohne konstruktiven Mehraufwand die Herstellung eines Quarzglaszylinders mit geringem OH-Gehalt und gleichzeitig homogener Verteilung der OH-Konzentration ermöglicht, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass der Sootkörper nach der Dehydratationsbehandlung und vor seiner Verglasung einer Vorbehandlung unter Schutzgas und/oder unter Vakuum im Verglasungsofen unterworfen wird, wobei er in einer Heizzone auf eine Temperatur im Bereich von 100°C bis 1350°C erhitzt wird.</p> |