发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A CYLINDRICAL QUARTZ GLASS BODY HAVING A LOW OH CONTENT
摘要 <p>Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Quarzglaskörpers mit geringem OH-Gehalt wird zunächst durch Flammenhydrolyse einer siliciumhaltigen Verbindung und schichtweises Abscheiden von SiO2-Partikeln auf einem rotierenden Träger ein langgestreckter, poröser Sootkörper hergestellt, und dieser einer Dehydratationsbehandlung unterzogen und danach in einem Verglasungsofen verglast. Um hiervon ausgehend ein einfaches Verfahren anzugeben, das ohne konstruktiven Mehraufwand die Herstellung eines Quarzglaszylinders mit geringem OH-Gehalt und gleichzeitig homogener Verteilung der OH-Konzentration ermöglicht, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass der Sootkörper nach der Dehydratationsbehandlung und vor seiner Verglasung einer Vorbehandlung unter Schutzgas und/oder unter Vakuum im Verglasungsofen unterworfen wird, wobei er in einer Heizzone auf eine Temperatur im Bereich von 100°C bis 1350°C erhitzt wird.</p>
申请公布号 WO2003091171(P1) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 EP2003004412 申请日期 2003.04.28
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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