发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE69625679(T2) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 DE1996625679T 申请日期 1996.10.18
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN 发明人 DOHMEN, THEODOOR;ELMENDORFF, JOHANNES;LAVRIJSEN, MATTHEUS
分类号 G03F7/09;H01L21/027;H01L21/308;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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