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发明名称 Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit radial-polarisations-drehender optischer Anordnung
摘要
申请公布号 DE59610745(D1) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 DE19965010745 申请日期 1996.08.30
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 SCHUSTER, KARL-HEINZ
分类号 G02B5/30;G03F7/20;(IPC1-7):G02B5/30 主分类号 G02B5/30
代理机构 代理人
主权项
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