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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SPUTTERN VON MAGNETISCHEM TARGETMATERIAL
摘要
申请公布号
DE69433208(D1)
申请公布日期
2003.11.06
申请号
DE19946033208
申请日期
1994.10.21
申请人
MANLEY, BARRY
发明人
MANLEY, BARRY
分类号
H05H1/46;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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