| 发明名称 |
EPITAXIAL OXIDE FILMS VIA NITRIDE CONVERSION |
| 摘要 |
The present invention relates to oxides on suitable substrates, as converted from nitride precursors.
|
| 申请公布号 |
US2003207132(A1) |
申请公布日期 |
2003.11.06 |
| 申请号 |
US20010931588 |
申请日期 |
2001.08.16 |
| 申请人 |
APPLIED THIN FILMS, INC. |
发明人 |
SAMBASIVAN SANKAR;BARNETT SCOTT A.;KIM ILWON;RECHNER JOHN W. |
| 分类号 |
C30B29/22;C23C8/02;C23C14/06;C23C14/08;C30B23/02;C30B33/00;H01L21/318;H01L39/24;(IPC1-7):B32B15/04;B05D3/02;B05D1/36 |
主分类号 |
C30B29/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
