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发明名称
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines polykristallinen Siliciumstabes
摘要
申请公布号
DE50200055(D1)
申请公布日期
2003.11.06
申请号
DE20025000055
申请日期
2002.01.03
申请人
WACKER-CHEMIE GMBH
发明人
HERTLEIN, HARALD;HESSE, DR.;FRAUENKNECHT, AXEL
分类号
C01B33/035;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/035
主分类号
C01B33/035
代理机构
代理人
主权项
地址
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