发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines polykristallinen Siliciumstabes
摘要
申请公布号 DE50200055(D1) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 DE20025000055 申请日期 2002.01.03
申请人 WACKER-CHEMIE GMBH 发明人 HERTLEIN, HARALD;HESSE, DR.;FRAUENKNECHT, AXEL
分类号 C01B33/035;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/035 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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