| 发明名称 |
A method of processing a polymer layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2361809(B) |
申请公布日期 |
2003.11.05 |
| 申请号 |
GB20010015769 |
申请日期 |
2000.02.24 |
| 申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
JOHN * MACNEIL;KNUT * BEEKMAN;ANTHONY PAUL * WILBY |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/56;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/310 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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